阴极发光是（shì）一种光（guāng）谱分析方法，通过（guò）电子束（shù）轰击材料产生发光后（hòu），用来（lái）在局部范围内鉴别材料中的点缺（quē）陷和杂（zá）质缺陷，应用于微电子，半导体材料，绝缘体，地质学和矿物学等领（lǐng）域。